著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 南部 健一 and 渡部 安雄 and 米村 茂,微小ギャップの排気 中間流・分子流のシミュレーション法 大面積微小ギャップの排気への応用,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,2000,43,10,939-945,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679042373632,https://doi.org/10.3131/jvsj.43.939