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寺本 章伸 and 荒谷 崇 and 樋口 正顕 and 池永 英司 and 平山 昌樹 and 須川 成利 and 服部 健雄 and 大見 忠弘,マイクロ波励起プラズマを用いた高品質シリコン窒化膜の形成,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,2007,50,11,659-664,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679043974528,https://doi.org/10.3131/jvsj.50.659