著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
中田 時夫 and 国岡 昭夫,高周波スパッタリングによるα‐ＨｇＳ薄膜の作製とその結晶構造,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1974,17,10,356-363,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679044040832,https://doi.org/10.3131/jvsj.17.356