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石井 成行 and 石部 行雄 and 大山 等 and 岡崎 清比古 and 坂本 雄一 and 矢野 勝喜 and 川端 一男 and 川澄 義明 and 棚橋 秀伍 and 野田 信明,JIPP T-IIにおけるECR放電洗浄の効果,真空,05598516,一般社団法人 日本真空学会,1982,25,4,168-171,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679044482176,https://doi.org/10.3131/jvsj.25.168