Cz シリコン単結晶の凝固プロセス中に水素を添加することで達成できるプロセスゾーンの拡大

DOI Web Site Web Site 参考文献6件
  • 杉村 渉
    株式会社 SUMCO 評価・基盤技術部 九州大学大学院工学研究院材料工学部門
  • 小野 敏昭
    株式会社 SUMCO 評価・基盤技術部
  • 宝来 正隆
    株式会社 SUMCO 評価・基盤技術部
  • 東田 賢二
    九州大学大学院工学研究院材料工学部門

書誌事項

タイトル別名
  • The Effects of Hydrogen Doping on Expansion of a Process Zone of Cz Silicon Single Crystals
  • Cz シリコンタンケッショウ ノ ギョウコ プロセス チュウ ニ スイソ オ テンカ スル コト デ タッセイ デキル プロセスゾーン ノ カクダイ

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収録刊行物

  • まてりあ

    まてりあ 53 (10), 454-457, 2014

    公益社団法人 日本金属学会

参考文献 (6)*注記

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