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- 杉山 進
- 立命館大学理工学 部ロボテクス学科
書誌事項
- タイトル別名
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- Micromachining Using Synchrotron Radiation Light
- テンボウ ホウシャコウ ニ ヨル ビサイ カコウ
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説明
シンクロトロン放射(SR)光X線を利用したLIGA(Lithogra-phie,Galvanoformung,Abformung,独語)プロセスは,数十μm- 数百μm以上の厚さで,高いアスペクト比(加工幅に対する厚さの比)のマイクロ構造体をつくることができる。立命館大学の小型超伝導SR光源AURORAを用いたLIGAプロセスの概要と3次元加工への新展開を概説する。
収録刊行物
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- 高分子
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高分子 53 (2), 70-73, 2004
公益社団法人 高分子学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679056971648
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- NII論文ID
- 10011964531
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- NII書誌ID
- AN00084926
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- COI
- 1:CAS:528:DC%2BD2cXhs1Gqtrs%3D
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- ISSN
- 21859825
- 04541138
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- NDL書誌ID
- 6839152
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可