著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
奥平 定之 and 下元 泰治 and 川本 佳史,ドライエッチング法,金属表面技術,00260614,一般社団法人 表面技術協会,1979,30,10,508-517,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679089206528,https://doi.org/10.4139/sfj1950.30.508