著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
栗野 浩之 and 小柳 光正,スーパーコネクト技術 ウェーハレベル３次元集積化技術,表面技術,09151869,一般社団法人 表面技術協会,2002,53,4,228-232,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679090313984,https://doi.org/10.4139/sfj.53.228