著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 山本 兼司 and 佐藤 俊樹 and 岩村 栄治,AIP法により作製したTiN,CrN,Cr2NおよびAlTiN膜の熱膨張率および二軸弾性率の温度依存性,表面技術,09151869,一般社団法人 表面技術協会,1999,50,1,52-57,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679091376768,https://doi.org/10.4139/sfj.50.52