著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 縄舟 秀美 and 粟野 まいこ and 赤松 謙祐 and 水本 省三 and 内田 衛 and 細田 勉,添加剤の予備吸着を利用する銅電析プロセスによるULSI微細配線の形成,表面技術,09151869,一般社団法人 表面技術協会,2002,53,1,59-64,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679091421696,https://doi.org/10.4139/sfj.53.59