著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
伴 厚志,液晶プロセスを変革する透明導電膜の新技術 ＩＴＯドライエッチングとパターニング技術,表面技術,09151869,一般社団法人 表面技術協会,1999,50,9,786-790,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679092370816,https://doi.org/10.4139/sfj.50.786