著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
平野 隆之,ＭＥＭＳの現状と将来展望 ＭＥＭＳの産業化とナノテクとの融合,表面技術,09151869,一般社団法人 表面技術協会,2003,54,10,630-634,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679094376448,https://doi.org/10.4139/sfj.54.630