著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
石山 千恵美,超臨界流体と表面処理技術 超臨界二酸化炭素処理技術のフォトリソグラフィへの応用と微小レジストパターンの密着強度への影響,表面技術,09151869,一般社団法人 表面技術協会,2010,61,8,571-577,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679094976128,https://doi.org/10.4139/sfj.61.571