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藤井 清利,B/C/N系セラミックスの応用としての静電チャック,炭素,03715345,炭素材料学会,2007,2007,226,48-54,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679202540800,https://doi.org/10.7209/tanso.2007.48