Electrostatic chuck as application of B/C/N ceramics
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- Fujii Kiyotoshi
- GE Advanced Ceramics
Bibliographic Information
- Other Title
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- B/C/N系セラミックスの応用としての静電チャック
- レンサイ コウザ B C Nケイ セラミックス ノ オウヨウ ト シテ ノ セイデンチャック
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Journal
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- TANSO
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TANSO 2007 (226), 48-54, 2007
THE CARBON SOCIETY OF JAPAN
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679202540800
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- NII Article ID
- 10018709246
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- NII Book ID
- AN00140335
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- ISSN
- 18845495
- 03715345
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- NDL BIB ID
- 8656722
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- Data Source
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles