著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 中尾 政之 and 畑村 洋太郎,マイクロマシン マイクロ加工および組立技術の動向 マイクロ機械加工,BME,0913-7556,一般社団法人 日本生体医工学会,1995,9,8,33-37,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679296870528,https://doi.org/10.11239/jsmbe1987.9.8_33