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畝田 道雄 and 福田 有哉 and 伊藤 康昭 and 堀田 和利 and 杉山 博保 and 森永 均 and 石川 憲一,サファイア基板のメカニカルポリシングに及ぼす定盤表面性状の影響,砥粒加工学会誌,09142703,社団法人 砥粒加工学会,2014,58,5,314-320,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679311035392,https://doi.org/10.11420/jsat.58.314