著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
角南 英夫 and 鈴木 道夫,次世代集積回路と製造ライン －今後のデバイス展望と300mmウエハ製造ラインの動向－,エアロゾル研究,09122834,日本エアロゾル学会,1999,14,1,11-18,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679320186112,https://doi.org/10.11203/jar.14.11