著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
花田 禎一 and 大川 誠 and 曽我 直弘,高周波スパッター法によるZrO<SUB>2</SUB>-Al<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>系非晶質膜の形成と構造,日本化学会誌（化学と工業化学）,03694577,公益社団法人 日本化学会,1987-11-10,1987,11,1861-1866,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679365465472,https://doi.org/10.1246/nikkashi.1987.1861