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山口 明啓 and 木戸 秀樹 and 竹内 雅耶 and 内海 裕一,X線を用いた熱化学異方性エッチングによるPTFEの微細加工プロセスの検討,電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）,13418939,一般社団法人 電気学会,2017,137,12,417-421,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679436932992,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.137.417