著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
Kong Seongho and Minami Kazuyuki and Esashi Masayoshi,Fabrication of Reactive Ion Etching Systems for Deep Silicon Machining,電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）,13418939,一般社団法人 電気学会,1997,117,1,10-14,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679436977024,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.117.10