著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) Itoh Takaki,Glow Discharge Mass Spectroscopy Study of Ion Concentrations of Joints in Anodic Bonding of Borosilicate Glass to Ultrathin Silicon,電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌),13418939,一般社団法人 電気学会,2016,136,11,478-481,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679437080704,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.136.478