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土谷 茂樹 and 三輪 昌史 and 金子 礼三,半導体静電アクチュエータの動作に及ぼす不純物濃度の影響に関する理論的検討,電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）,13418939,一般社団法人 電気学会,2001,121,1,26-31,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679437093248,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.121.26