著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 佐々木 実 and 能川 真一郎 and 羽根 一博,立体的マイクロマシニングのためのレジストスプレーコーティング,電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌),13418939,一般社団法人 電気学会,2002,122,5,235-243,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679438115456,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.122.235