著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
平野 隆之,マイクロマシンプロジェクトの成果,電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）,13418939,一般社団法人 電気学会,2002,122,2,53-58,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679438132224,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.122.53