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山田 浩 and 栂嵜 隆 and 木村 正信 and 須藤 肇 and 川原 伸章,マイクロ視覚システムの高密度3次元実装技術,電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）,13418939,一般社団法人 電気学会,2002,122,2,67-72,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679438133376,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.122.67