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渡部 善幸 and 小林 誠也 and 岩松 新之輔 and 矢作 徹 and 佐藤 勝裕 and 大泉 則一,電磁誘導によるMEMSアクチュエータの動作モニタ,電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）,13418939,一般社団法人 電気学会,2013,133,1,26-30,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679438190592,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.133.26