著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
崔 在濬 and 南 和幸 and 江刺 正喜,Deep ICPRlEとXeF<sub>2</sub>ガスエッチングによる回転振動型角速度センサ,電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）,13418939,一般社団法人 電気学会,1998,118,10,437-443,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679438271744,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.118.437