著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 丹羽 英二 and 三上 浩,高圧水素ガス環境用Cr-N薄膜ひずみセンサおよび圧力センサ,電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌),13418939,一般社団法人 電気学会,2018-05-01,138,5,178-184,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679438281984,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.138.178