著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 服部 正,マイクロマシンにおける移動機構,電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌),13418939,一般社団法人 電気学会,1996,116,2,43-46,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679438295680,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.116.43