著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
Sim Dong Youn and Kurabayashi Toru and Esashi Masayoshi,PNEUMATIC MICROVALVE BASED ON SILICON MICROMACHINING,電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）,13418939,一般社団法人 電気学会,1996,116,2,56-61,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679438346240,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.116.56