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片白 雅浩 and 有馬 通継 and 徳田 一成 and 岡村 俊朗 and 松本 一哉 and 宮島 博志,パターン付き埋め込み酸化膜をもつ特殊ＳＯＩウエハーの製作プロセスとその広角２次元光スキャナヘの適用,電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）,13418939,一般社団法人 電気学会,2003,123,5,152-157,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679438413824,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.123.152