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鈴木 孝彰 and 内野 和好 and 横井 哲郎 and 黎 耀明 and 滝沢 広幸 and 前田 龍太郎 and 高木 秀樹 and 花田 幸太郎,Si微細加工および貼り合わせ技術を利用した超微細ピッチ配線技術,電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）,13418939,一般社団法人 電気学会,2002,122,8,409-414,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679438635904,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.122.409