著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 金丸 昌敏 and 河野 竜治 and 遠藤 喜重 and 細金 敦,LSI検査用マイクロプローブの開発,電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌),13418939,一般社団法人 電気学会,2002,122,9,440-446,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679438644480,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.122.440