著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
大原 淳士 and 竹内 幸裕,シリコンドライエッチング技術の発展史,電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）,13418939,一般社団法人 電気学会,2011,131,1,14-18,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679439055744,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.131.14