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佐藤 史朗 and 福士 秀幸 and 江刺 正喜 and 田中 秀治,酸化防止層にSnを用いた低温Al-Al熱圧着ウェハレベル真空封止接合の研究,電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）,13418939,一般社団法人 電気学会,2016,136,6,237-243,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679439227648,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.136.237