著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
Kim Seong-Hyok and Lee Sang-Hun and Lim Hyung-Taek and Kim Yong-Kweon and Lee Seung-Ki,Anisotropic Bulk Etching of (110) Silicon with High Aspect Ratio,電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）,13418939,一般社団法人 電気学会,1998,118,1,32-36,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679439435136,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.118.32