著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 渡辺 哲也,E部門発足20周年記念特集 ~センサ・マイクロマシン成功体験談~:シリコン振動式圧力センサの開発(一人娘の伝説),電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌),1341-8939,一般社団法人 電気学会,2015,135,6,NL6_2-NL6_2,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679439494272,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.135.nl6_2