著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 佐藤 史朗 and 福士 秀幸 and 江刺 正喜 and 田中 秀治,低温Al-Al熱圧着ウェハレベル真空封止接合における薄膜Sn層の役割,電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌),13418939,一般社団法人 電気学会,2017,137,12,432-437,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679439541248,https://doi.org/10.1541/ieejsmas.137.432