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佐伯 尚哉 and 市川 功 and 因幡 和晃 and 岸本 喜久雄,粘接着テープを用いた半導体製造工程におけるピックアップ性能評価,日本機械学会論文集Ａ編,03875008,一般社団法人 日本機械学会,2010,76,766,730-736,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679455095424,https://doi.org/10.1299/kikaia.76.730