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原 靖彦 and 岡本 啓一 and 浜田 利満 and 中川 清,特徴比較によるLSIホトマスクパターン外観検査の自動化,計測自動制御学会論文集,04534654,公益社団法人 計測自動制御学会,1983,19,11,903-908,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679480124288,https://doi.org/10.9746/sicetr1965.19.903