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森 英季 and 干野 隆之 and 大日方 五郎 and 大内 一弘,空気静圧軸受け・リニア・アクチュエータによる高精度トラッキング,映像情報メディア学会技術報告,13426893,一般社団法人 映像情報メディア学会,2001,25.14,0,25-30,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679499810688,https://doi.org/10.11485/itetr.25.14.0_25