著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 江刺 正喜,シリコンセンサ・MEMSの現状と将来,映像情報メディア学会技術報告,13426893,一般社団法人 映像情報メディア学会,1999,23.57,0,99-106,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679501469184,https://doi.org/10.11485/itetr.23.57.0_99