著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 節原 裕一 and 三宅 正司,"イオン・プラズマプロセスによる硼素,炭素,窒素系超硬質薄膜の合成",応用物理,0369-8009,公益社団法人 応用物理学会,1998,67,6,659-663,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679572409088,https://doi.org/10.11470/oubutsu1932.67.659