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高木 浩一 and 佐山 国央 and 高橋 淳 and 藤原 民也 and 永田 雅克 and 小野 幹幸 and Jani Muaffaq Achmad,RF放電プラズマによる基板の温度上昇,電気学会論文誌． Ａ,0385-4205,一般社団法人 電気学会,1997,117,11,1077-1083,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679576325504,https://doi.org/10.1541/ieejfms1990.117.11_1077