著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 大木 義路 and 石井 啓介 and 薛 光洙 and 西川 宏之,シリコン酸化膜中の点欠陥の新しい検出法,電気学会論文誌. A,03854205,一般社団法人 電気学会,1996,116,5,387-391,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679576412416,https://doi.org/10.1541/ieejfms1990.116.5_387