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永田 豊 and 原田 哲男 and 渡邊 健夫 and 緑川 克美 and 木下 博雄,コヒーレントEUV光源を用いたEUVLマスクの欠陥検出,電気学会論文誌． Ａ,03854205,一般社団法人 電気学会,2013,133,10,509-518,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679576979200,https://doi.org/10.1541/ieejfms.133.509