著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
河田 泰之 and 俵 武志 and 中村 俊一 and 後藤 雅秀 and 岩室 憲幸,高温アニールによる４Ｈ－ＳｉＣエッチング形状変形の異方性,電気学会論文誌Ｃ（電子・情報・システム部門誌）,03854221,一般社団法人 電気学会,2010,130,6,920-923,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679584568320,https://doi.org/10.1541/ieejeiss.130.920