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高田 博史 and 平田 嘉裕 and 奥山 浩 and 沼澤 稔之,超電導小形シンクロトロン光源を用いたLIGAプロセス開発,電気学会論文誌Ｃ（電子・情報・システム部門誌）,0385-4221,一般社団法人 電気学会,1996,116,12,1334-1340,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679584936320,https://doi.org/10.1541/ieejeiss1987.116.12_1334