著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
杉原 慶彦 and 本田 敏文 and 浦野 雄太 and 渡辺 正浩 and 野口 聡 and 五十嵐 一,散乱光分布を利用した半導体ウエハ上の欠陥種分類および寸法推定に関する研究,電気学会論文誌Ｃ（電子・情報・システム部門誌）,0385-4221,一般社団法人 電気学会,2013,133,11,2118-2124,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390282679586282624,https://doi.org/10.1541/ieejeiss.133.2118